상표 :
TMAX품목 번호:
TMAX-1600PECVD결제 :
L/C, T/T, 웨스턴 유니온, 페이팔인증서 :
CE ROHS 인증서리드 타임 :
5일가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 1600C PECVD로
PECVD 시스템은 튜브 퍼니스, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템, 그리고 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래핀 등의 성장에 사용됩니다. 기능 추가가 용이하며, 플라즈마 세정 및 에칭과 같은 기능을 확장할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 박막 증착 속도, 우수한 균일성, 높은 일관성 및 안정성이라는 장점을 가지고 있습니다.
자세한 기술 매개변수
모델 | TL1600-I |
힘 | 5KW |
튜브 크기(OD)(mm) | 고순도 코런덤 튜브: 60mm(튜브 직경) 양쪽에 퍼니스 플러그 두 개가 설치됩니다. 퍼니스 플러그는 퍼니스 튜브 중앙의 열 복사를 차단할 수 있으므로 가열 전에 퍼니스의 올바른 위치에 설치해야 합니다. |
차원 | 1120X490X855 |
공급 전압 | 220V |
단계 | 단상 |
가열 요소 | 1800년형 실리콘 몰리브덴 바 |
온도 조절 유형 | Yudian 프로그램 온도 조절 장치 사용(표준) 1. 30세그먼트 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 과열 보호 기능이 있어, 온도가 과열되거나 커플링이 끊어지면 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. (ON일 경우, 패널의 ON 표시등이 꺼지고, OFF 표시등이 켜지면 전기로가 제한적으로 보호됩니다.) 3. 485 통신 인터페이스(옵션 소프트웨어 포함) 4. 정전 보호 기능이 있어, 전원이 꺼진 후 다시 켜지면 초기 온도에서 프로그램이 시작되지 않고, 전원이 꺼진 후의 로 온도에서 프로그램이 시작됩니다. 5. 본 기기는 온도 자동 조절 기능을 갖추고 있습니다. (수입 악기 교체 시 추가 비용 발생, 선택 사항) FP93 계측기 EUROTHERM 계측기 터치스크린 계측기 (시마덴, 일본) |
챔버 소재 | 1. 난로재료는 고품질 알루미나 다결정섬유로 만들어졌습니다. 2. 내부로 표면은 수입 1800도 고온 알루미나 코팅으로 코팅되어 방사율을 높이고 온도장을 보다 균형 있게 만들 수 있습니다. |
밸브 및 플랜지 | |
제어 정밀도 | +/- 1℃ |
방아쇠 | 위상 이동 트리거 |
전기 제품 | 저장 친트 |
실리콘 제어 | 106/16E 세미크론 |
최대 온도 | 1600℃ |
정격 온도 | 1550℃ |
가열 속도 | ≤20℃/분(필요에 따라 조정 가능) |
권장 가열 속도 | ≤10℃/분 |
열전대 모델 | B형 |
가열 섹션의 길이 | 300mm |
주변 표면 온도 | ≤45℃ |
진공 시스템 |
VS-0.1 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템은 튜브로 퍼니스 튜브 내의 진공도를 0.1Pa까지 끌어올릴 수 있습니다(저항 진공 게이지 디스플레이 장착). LED 그린 스크린 디지털 디스플레이가 탑재되어 있습니다. VRD16 진공 펌프 채택 |
가스 공급 시스템 | 가스 유량계 가스 공급 시스템 기술적 매개변수: l 공압 채널: 6 l 공압 유량 제어: 질량 유량계를 사용하세요. l 캐비닛 크기: 600X600X600mm l LED 디스플레이 포함 l 질량 유량계의 기술적 매개변수: 인터페이스Φ6표시하다주도의작업 환경 온도5~45℃유량 제어기프로톤 유량 제어기를 사용합니다. 뒷면을 참조하세요.스테인리스 스틸 튜브외부 Φ6 X 내부 Φ4압력 진공 테이블-0.1~0.15MPa, 0.01MPa/div스톱 밸브Φ6흐름 제어PLC 지능형 제어 질량 유량 컨트롤러의 기술적 매개변수: 제품 설명 : 일반형, 아날로그 회로 제품 상세 설명: 일반형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 막히기 쉽지 않음. 주요 지표: 범위 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM(원하는 범위 선택 가능) 주문 시 꼭 확인 부탁드립니다.정확성 ±1% FS 선의 0.5% FS반복성 ±0.2% FS응답 시간 1초공기압 강하 <0.01MPa최대 압력 3MP작업 환경 온도 5~45℃입력 및 출력 신호 0~+5.00V전원 공급 장치 +15V 50mA -15V 50mA치수 158*30*110무게 0.9kg 가스 공급 시스템 구성: 양성자 유량계 6기계식 압력계(범위 -0.1~0.15MPa) 1스테인리스 스틸 글로브 밸브 6스테인리스 스틸 관통 플레이트 커넥터 6스테인리스 스틸 밸브 조인트 2스테인리스 스틸 실린더 커넥터 6PTFE 튜브 30MDia80X140MM 가스 혼합 탱크 1용광로 프레임 1세트 |
RF 전원 공급 장치의 주요 기술 매개변수:
전력 출력 범위 | 0-500W |
최대 반사 전력 | 200와트 |
작동 주파수 | 무선 주파수: 13.56MHz±0.005% |
전력 안정성 | +/-0.1% |
고조파 성분 | ≤-50dbc |
RF 영역 폭 | 0~600mm 조절 가능 |
매칭 방식 | 오토매틱 |
냉각 모드 | 추위의 포인트 |
소음 | <50dB |
무선 주파수 인터페이스 | 50Ω N형 |
입력 전력 | 208-240V 50/60Hz |
보증
1년 보증 및 평생 기술 지원
특별 참고 사항:
1. 가열소자, 용광로관, 시료용기 등 소모성 부품은 보증기간에 포함되지 않습니다.
2. 부식성 가스 및 산성 가스 사용으로 인한 손상은 보증 대상에서 제외됩니다.
지침
1. 용광로 튜브 내의 공기압은 0.02MPa보다 높아서는 안 됩니다.
2. 가스 실린더 내부의 공기압이 높으므로, 가스가 퍼니스 튜브로 유입될 때 가스 실린더에 압력 릴리프 밸브를 설치해야 합니다. 안전을 위해 0.02MPa 이하의 압력을 사용하는 것이 좋습니다.
3. 사용하는 용광로 튜브가 코런덤 튜브일 경우, 용광로 본체 온도가 1500℃보다 높을 때, 용광로 튜브는 진공 상태가 되어서는 안 되며, 용광로 튜브 내의 공기 압력은 대기압과 같아야 합니다.
4. 뜨거운 로 튜브에 차가운 공기 흐름의 영향을 피하기 위해 로 튜브로의 가스 흐름은 200SCCM 미만이어야 합니다.
5. 시료 가열 실험 시, 퍼니스 튜브 플랜지 끝단의 배기 밸브와 입구 밸브를 닫지 않는 것이 좋습니다. 시료 가열을 위해 가스 밸브를 닫아야 하는 경우, 압력계의 지시에 항상 주의해야 합니다. 압력이 0.02MPa를 초과하는 경우, 사고(퍼니스 튜브 파열, 플랜지 비산 등)를 방지하기 위해 즉시 배기 밸브를 열어야 합니다.
6. 알루미나 튜브에는 흑연 도가니를 사용하지 마십시오.
7. MoSi2 발열체는 저온(400℃-700℃)에서 장시간 사용하면 안 됩니다. 그렇지 않으면 발열체가 손상될 수 있습니다.
1 표준 수출 포장: 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출용 나무 상자 포장.
2. 고객 요구 사항에 따라 익스프레스, 항공, 해상 운송을 통해 가장 적합한 방법을 찾아 배송합니다.
3. 배송과정에서 발생하는 손상에 대해 책임을 지고, 손상된 부분을 무료로 교환해 드립니다.