상표 :
TMAX품목 번호:
TMAX-1500-1500CVD결제 :
L/C, T/T, 웨스턴 유니온, 페이팔인증서 :
CE ROHS 인증서리드 타임 :
5일1500-1500C 듀얼 존 회전식 튜브로를 갖춘 실험실 CVD 시스템
CVD 시스템은 가스 공급 시스템 + 튜브로 + 진공 시스템으로 구성되며, 최대 온도는 1200도, 1400도, 1600도, 1700도에 달할 수 있습니다. 가열 영역은 단일 온도 영역, 이중 온도 영역, 삼중 온도 영역 등으로 구성될 수 있으며, 최대 진공도는 10-3Pa에 달할 수 있습니다. 가스 공급 시스템은 유량 조절을 위해 질량 유량계 또는 플로트 유량계를 사용할 수 있습니다. 혼합 채널 수는 2채널, 3채널, 4채널, 5채널로 구성될 수 있습니다.
자세한 기술 매개변수
모델 | 1500-1500-I 1500-1500-II |
힘 | 9KW 9KW |
튜브 크기 | 직경 60(OD) X1400mm 직경 80(OD) X1400mm |
공급 전압 | 380V 380V |
단계 | 듀얼 페이즈 듀얼 페이즈 |
튜브 | 코런덤 튜브 : 고순도 AIO 세라믹(포함) 99.5% |
가열 요소 | 1차 온도대 : 실리콘카본 막대 2차 온도대 : 실리콘카본 막대 |
용광로 튜브 회전 속도 | 무단 가변 속도 모터를 사용하면 속도를 (1~25 RPM) 사이에서 조정할 수 있습니다. |
모터 동력 | 40와트 |
로는 각도로 기울일 수 있습니다 | 0~30도 |
드라이브의 종류 | 톱니 벨트 및 기어 |
제어 모드 | UAV 프로그램 온도 조절 장치(표준) 1, 30단계 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 과열 보호 기능이 있어, 온도가 과열되거나 파손되면 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다.(전기로 온도가 1520도를 초과하거나 열전대가 끊어지면 주 회로의 AC 릴레이가 자동으로 분리되고 주 회로가 파손됩니다. 켜지면 패널의 ON 표시등이 꺼지고 OFF 표시등이 켜지며 전기로의 보호가 제한됩니다). 3, 485 통신 인터페이스(소프트웨어 구매 시 기본 제공) 4. 전원 차단 보호 기능이 있어 전원이 꺼진 후 다시 전원을 켜면 프로그램이 시작 온도에서 시작되지 않고, 전원이 꺼진 시점부터 가열로 온도가 상승합니다. 5, 미터는 온도 자체 조정 기능을 가지고 있습니다
(수입 악기 교체 시 추가 비용 발생, 선택 사항)
FP93 계측기 EUROTHERM 계측기 터치스크린 계측기 (시마덴, 일본) |
용광로 재료 | 1. 진공 여과를 통해 형성된 고품질 고순도 알루미나 다결정 섬유 경화로. 2. 일본의 성형기술을 도입합니다. |
제어 정확도 | +/- 1℃ |
방아쇠 | 위상 이동 트리거 |
전기 제품 | 저장 친트 |
실리콘 제어 | 106/16에세미크론 |
1, 2 온도대의 최고 기온 | 1500℃ |
1차 및 2차 온도 구역의 정격 온도 | 1400℃ |
가열 속도 | ≤20℃/분(필요에 따라 조정 가능) |
권장 온도 상승률 | ≤10℃/분 |
열전대 | 첫 번째 온도 구역에 S 타입 두 번째 온도 영역의 S 타입 |
1차 및 2차 온도 구역의 가열 구간 길이 | 300+300mm 300+300mm |
일정 온도 길이 | 450mm 450mm |
Gx-3 3채널 공기 공급(혼합 공기) 시스템
1.1. 가스는 실린더에서 나와 감압 밸브를 통해 감압되고, PTFE 튜브를 통과하여 가스 공급 시스템의 입구로 이동한 후, 가스 흐름을 제어하기 위해 질량 유량계를 통과한 후 가스 혼합 탱크를 통과하여 용광로 입구로 들어갑니다.
1.2. 가스 혼합 탱크에는 압력계가 부착되어 있으며, 압력계 표시 디스크와 양성자 유량계 컨트롤러는 동일한 패널에 설치됩니다.
1.3. 각 가스관에는 안전을 위해 고압 차단 밸브가 있습니다.
1.4. 가스 경로는 고정밀 가스 질량 유량계를 채택하고, 가스 경로 내부는 모두 내식성이 우수한 스테인리스 강관으로 제작되었습니다.
1.5. 상자 내부의 모든 연결 부분은 기밀성이 우수하고 내압성이 높은 스테인리스 스틸 페룰로 연결됩니다.
2. 기술적 매개변수:
공압 채널: 3
가스 흐름 제어: 질량 유량계.
캐비닛 크기: 600X600X600mm
질량 유량계 기술 매개변수:
인터페이스: Φ6
디스플레이: LED
작업 환경 온도: 5~45°C
유량 제어기: 양성자 유량 제어기 매개변수 다시 확인하세요
스테인리스 스틸 튜브: 외경 Φ6 X 외경 Φ4
압력 진공 테이블: -0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/구간
스톱 밸브: Φ6
흐름 제어: PLC 지능형 제어
3. 질량 유량계 기술 매개변수:
제품명: 질량 유량 컨트롤러
제품 설명 : 일반형, 아날로그 회로
제품 세부 정보: 일반, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 막히기 쉽지 않음.
주요 지표: 범위: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (범위를 임의로 선택할 수 있음)
• 정확도: ±1% FS
• 선형: 0.5% FS
• 반복성: ±0.2% FS
• 응답 시간: 1초
• 공기압 강하 : <0.01MPa
• 최대 압력 : 3MP
• 작업 환경 온도 : 5~45°C
• 입력 및 출력 신호: 0~+5.00V
• 전원: +15V 50mA -15V 50mA
• 치수: 158*30*110
• 무게: 0.9kg
4. 가스 공급 시스템의 구성:
1. 양성자 유량계: 3
2. 기계식 압력계(범위 -0.1~0.15MPa): 1
3. 스테인리스 스틸 차단 밸브 : 4
4. 스테인리스 강판 접합부: 4
5. 스테인리스 스틸 밸브 커넥터: 2
6. 스테인리스 스틸 실린더 커넥터: 3
7. PTFE 튜브: 15M
8. 혼합 탱크 Dia80X140MM: 1
9. 퍼니스 랙: 1세트
VS 고진공 시스템
분자 펌프 유닛 (옵션 1 또는 옵션 2)
| 단위 입력 전압 | 380V / 220V | |
풀무 | KF40X1000 | ||
진공 배플 밸브 | KF40 | ||
치수 | 600X600X600 | ||
분자 펌프
(옵션 1) | 모델 | FJ620 | |
입력 전압 | 380V | ||
입구 플랜지 | 디엔160 | ||
펌핑 속도 L/S(공기) | 600 | ||
최대 압력(Pa) | 6×10-7 | ||
냉각 유형 | 수냉 | ||
냉각수 압력(MPa) | 0.1-0.2 | ||
냉각수 온도 | <25℃ | ||
환경 온도 | 0~40℃ | ||
권장 시작 압력 | <100파 | ||
분자펌프의 전단진공펌프 TRP-24 (FJ620 분자펌프는 기존 펌프를 장착해야 합니다) (옵션 2
| 동작 | 0.75KW | |
전기 압력 | 380V | ||
전달 속도 | 1450rpm | ||
· 입구 직경 | KF25/KF40 | ||
전방 엔진의 펌핑 속도(L/S) | 6 | ||
최대 압력 | 4X10-2파 | ||
독일 파이퍼 진공 펌프 (옵션 2) | 전압 | 220V | |
힘 | 110와트 | ||
추출 인터페이스 | KF40 | ||
무게 | 150kg | ||
전방 엔진의 펌핑 속도 | 0.9m 3/시간 | ||
펌핑 속도(N2) | 33리터/초 | ||
복합 진공 게이지
| 모델 | ZDF | |
전원 공급 장치 | 220V 55W | ||
제어 정확도 | ± 1% | ||
진공 게이지 측정 범위 | 10-5 -10 5 파 | ||
1 표준 수출 포장: 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출용 나무 상자 포장.
2. 고객 요구 사항에 따라 익스프레스, 항공, 해상 운송을 통해 가장 적합한 방법을 찾아 배송합니다.
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