CVD 시스템용 VRD16 진공 펌프가 장착된 진공 시스템 

I. 개요

 시스템(튜브 퍼니스의 진공을 0.6Pa까지 펌핑할 수 있음)은 KF25 인터페이스가 있는 흡입 플랜지(자체 제작), 고진공 배플 방식, 저항 진공 게이지, 벨로우즈, 브라켓(자체 제작), 진공 펌프로 구성됩니다. 플랜지 출구에 티 파이프를 연결하고, 3방향 파이프의 한쪽 끝에 저항 실리콘을 연결하고, 다른 쪽 끝에 고진공 플래퍼 밸브를 연결하고, 플래퍼 밸브와 진공 펌프를 Dia25의 주름으로 연결하고, 연결 포트에 KF25 퀵 클램프를 사용합니다.

2. 압력 감지 시스템

   ZDR-I/ZDR-I-LED형 단일저항 진공게이지

     저항 진공 게이지(피라니 진공 게이지라고도 함)는 특수 안정화된 ZJ-52T 저항 게이지를 사용하며, 정전력에 새로운 정온 작동 모드를 적용합니다. 동시에 마이크로프로세서를 사용하여 조절의 비선형성을 제어합니다. 선형 처리 기능을 제공하며, 안정적인 성능, 넓은 측정 범위, 빠른 응답 속도, 낮은 드리프트를 특징으로 합니다. 또한 강력하고 신뢰할 수 있는 마이크로프로세서 기반 릴레이 제어, 직렬 통신 출력, 진공 아날로그 출력 및 기타 기능을 제공합니다. 특히 진공 어플리케이션의 저진공 및 저진공 측정 및 제어에 적합합니다.

기술 사양:

* 분배 규정 : ZJ-52T 저항 게이지

* 측정 범위 : 10 5～10 -1 Pa

* 측정 횟수 : 1방향

* 제어채널 수 : 2개 도로에서 4개 또는 8개 도로로 확장 가능

* 제어 범위 : 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pa

* 제어모드 : 릴레이 접점 출력, 부하용량 AC220V/3A(또는 DC28V/3A) 무유도 부하

* 전원: 90-260V/50Hz 또는 220V ± 10% 50Hz

* 소비전력 : 25W

* 무게 : 4Kg/3Kg/0.5Kg (섀시에 따라 다름)

* 섀시 크기: 240 × 88 × 280 또는 265 × 119 × 280 또는 96 × 96 × 120

480 × 88 × 280 또는 480 × 119 × 280(폭 × 높이 × 깊이)

성능 특성:

*LED 그린 스크린 디지털 디스플레이.

* 다양한 별 조사

* 빠른 응답 속도

* 마이크로컴퓨터 보정은 비선형성을 조절하고 측정 오류를 줄입니다.

* 광학적 분리, 디지털 필터링, 향상된 간섭 방지 기능.

* PVC 컬러 패널로 외관이 아름답습니다.

* 포인트 제어 또는 영역 릴레이 제어 출력을 제공하며, 설정 포인트에는 전원 차단 보호 메모리 기능이 있습니다.  

3. VRD16 진공 펌프 채택

1 표준 수출 포장: 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출용 나무 상자 포장.

2. 고객 요구 사항에 따라 익스프레스, 항공, 해상 운송을 통해 가장 적합한 방법을 찾아 배송합니다.

3. 배송과정에서 발생하는 손상에 대해 책임을 지고, 손상된 부분을 무료로 교환해 드립니다.