기판 크기

5-200mm(표준)/5-600mm(옵션)

속도 범위

10- 12000RPM(표준)/10-20000RPM(옵션)

가속 범위

10-30000RPM/S, 조정 가능

모터 속도 안정성

±1RPM

스핀 코팅 균일성

±1%

가열 범위

실내 온도 -200℃

가열 속도

최대 100℃(1S) ~ 200℃(2S)

실온까지 냉각 속도

2초

인간-기계 인터페이스

8인치 터치스크린

통신 인터페이스

USB(표준) / RS485(표준) / 블루투스(옵션)

돌아서다

정방향 및 역방향 지원

첨필

스타일러스 BAMBOO 저항펜(표준)

진공 펌프

SC-550V

데이터 설정

무제한 그룹 데이터 , 그룹당 15개 속도(표준) 또는 무제한 속도(선택 사항)

기간당 초

0- 10000초

저장 데이터

무제한 데이터

데이터 보호

전원 차단 보호 기능이 기본으로 설정되어 있음

작동 전압(스핀 코터)

AC100-250V, 단상, 50/60Hz

작동 전압(펌프)

AC220V(표준) AC110V(옵션)

펌핑 속도

≥60L/분

최대 진공

-85KPA

사운드 레벨

≤55데시벨

스핀 코터 파워

650와트

펌프 파워

350와트

치수(스핀 코터)

340mm(폭)X500mm(깊이)X250mm(높이)

챔버 소재

전체 PTFE 소재

무게(스핀 코터)

18kg

무게(펌프)

9kg

상대 습도

< 85%

주변 온도

0~40℃

보증

1년