Lab 1200C 단일 구역 튜브로 CVD 시스템 

CVD 시스템은 가스 공급 시스템 + 튜브로 + 진공 시스템 으로 구성되며 , 최대 온도는 1200도, 1400도, 1600도, 1700도에 달할 수 있습니다. 가열 영역은 단일 온도 영역, 이중 온도 영역, 삼중 온도 영역 등으로 구성될 수 있으며, 최대 진공도는 10-3Pa 에 달할 수 있습니다 . 가스 공급 시스템은 유량 조절을 위해 질량 유량계 또는 플로트 유량계를 사용할 수 있습니다. 혼합 채널 수는 2채널, 3채널, 4채널, 5채널로 구성될 수 있습니다.

관로의 세부적인 기술적 매개변수

유형	1200-1	1200-II	1200-III	1200V	1200-VI	1200-7세
힘	3.5KW	3.5KW	3.5KW	5KW	6KW	7KW
튜브 크기(OD(mm)	직경 60 X1000	직경 80X1000	직경 100X1000	직경 150X1000	직경 200X1000	직경 250X1000
치수	1140X450X690	1140X450X690	1140X450X690	1110X530X755	1120X580X805	1314X680X905
공급 전압	220V
단계	단상
가열 요소	저항선
온도 조절	UAV 프로그램 온도 조절 장치(표준) 1, 30단계 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 과열 보호 기능이 있어, 온도가 과열되거나 파손되면 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다.(전기로 온도가 1200도를 초과하거나 열전대가 끊어지면 주 회로의 AC 릴레이가 자동으로 분리되고 주 회로가 파손됩니다. 켜지면 패널의 ON 표시등이 꺼지고 OFF 표시등이 켜지며 전기로의 보호가 제한됩니다). 3, 485 통신 인터페이스(소프트웨어 구매 시 기본 제공) 4. 전원 차단 보호 기능이 있어 전원이 꺼진 후 다시 전원을 켜면 프로그램이 시작 온도에서 시작되지 않고, 전원이 꺼진 시점부터 가열로 온도가 상승합니다. 5, 미터는 온도 자체 조정 기능을 가지고 있습니다 (수입 악기 교체 시 추가 비용 발생, 선택 사항)                                                                       FP93 온도 조절기(시마시마, 일본) 유럽형 기기 터치스크린 기기
챔버 소재	1. 진공흡입여과로 형성된 고품질 고순도 알루미나 다결정섬유 경화로. 2. 일본의 기술로 형성됨. 3. 용광로 내 저항선의 간격과 피치는 모두 일본 최고의 열기술에 따라 배치되었으며, 온도장은 열 소프트웨어에 의해 시뮬레이션됩니다.
밸브 및 플랜지
60/80/100 상단 보기
온도 교정(선택 사항)	튜브 퍼니스의 정기적인 온도 교정은 퍼니스 온도의 정확성과 균일성을 유지합니다. 이 작업을 돕기 위해 회사에서 간단한 교정 도구를 구입할 수 있습니다. 전체 교정 키트에는 표준 열전대 S형 온도 교정기가 포함되어 있습니다.
제어 정확도	+/- 1℃
방아쇠	위상 이동 트리거
전기 제품	저장 친트
실리콘 제어	106/16에세미크론
최대 온도	1200℃
정격 온도	1150℃
가열 속도	≤30℃/분(요구에 따라 조정 가능)
권장 온도 상승률	≤15℃/분
열전대 유형	K 타입
가열 길이	400-440mm
일정 온도 길이	150mm
온도장 곡선
주변 표면 온도	≤45℃
오픈 커버 보호 시스템	용광로 덮개가 열리면 릴레이가 자동으로 주전원을 차단하여 사용자의 안전을 효과적으로 보장합니다.

VS-0.1 진공 시스템(VRD16)

 시스템(튜브 퍼니스의 진공을 0.6Pa까지 펌핑할 수 있음)은 KF25 인터페이스가 있는 흡입 플랜지(자체 제작), 고진공 배플 방식, 저항 진공 게이지, 벨로우즈, 브라켓(자체 제작), 진공 펌프로 구성됩니다. 플랜지 출구에 티 파이프를 연결하고, 3방향 파이프의 한쪽 끝에 저항 실리콘을 연결하고, 다른 쪽 끝에 고진공 플래퍼 밸브를 연결하고, 플래퍼 밸브와 진공 펌프를 Dia25의 주름으로 연결하고, 연결 포트에 KF25 퀵 클램프를 사용합니다.

1. 압력 감지 시스템

   ZDR-I/ZDR-I-LED형 단일저항 진공게이지

     저항 진공 게이지(피라니 진공 게이지라고도 함)는 특수 안정화된 ZJ-52T 저항 게이지를 사용하며, 정전력에 새로운 정온 작동 모드를 적용합니다. 동시에 마이크로프로세서를 사용하여 조절의 비선형성을 제어합니다. 선형 처리 기능을 제공하며, 안정적인 성능, 넓은 측정 범위, 빠른 응답 속도, 작은 드리프트를 특징으로 합니다. 또한 강력하고 신뢰할 수 있는 마이크로프로세서 기반 릴레이 제어, 직렬 통신 출력, 진공 아날로그 출력 및 기타 기능을 제공합니다. 특히 진공 어플리케이션의 저진공 및 저진공 측정 및 제어에 적합합니다.

2. 기술 사양:

* 분배 규정 : ZJ-52T 저항 게이지

* 측정 범위 : 10 5～10 -1 Pa

* 측정 횟수 : 1방향

* 제어채널 수 : 2개 도로에서 4개 또는 8개 도로로 확장 가능

* 제어 범위 : 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pa

* 제어모드 : 릴레이 접점 출력, 부하용량 AC220V/3A(또는 DC28V/3A) 무유도 부하

* 전원: 90-260V/50Hz 또는 220V ± 10% 50Hz

* 소비전력 : 25W

* 무게 : 4Kg/3Kg/0.5Kg (섀시에 따라 다름)

* 섀시 크기: 240 × 88 × 280 또는 265 × 119 × 280 또는 96 × 96 × 120

480 × 88 × 280 또는 480 × 119 × 280(폭 × 높이 × 깊이)

3. 성능 특성:

*LED 그린 스크린 디지털 디스플레이.

* 다양한 별 조사

* 빠른 응답 속도

* 마이크로컴퓨터 보정은 비선형성을 조절하고 측정 오류를 줄입니다.

* 광학적 분리, 디지털 필터링, 향상된 간섭 방지 기능.

* PVC 컬러 패널로 외관이 아름답습니다.

* 포인트 제어 또는 영역 릴레이 제어 출력을 제공하며, 설정 포인트에는 전원 차단 보호 메모리 기능이 있습니다.  

4. VRD16 진공 펌프 채택

2채널 질량 유량계 가스 공급 시스템

1. 개요

1) 가스는 실린더에서 나와 감압 밸브를 통해 감압된 후 PTFE 튜브를 통해 가스 공급 시스템 입구로 이동하고, 이후 질량 유량계를 통해 가스 유량을 조절한 후 가스 혼합 탱크를 거쳐 노 입구로 들어가 가스가 배출됩니다. 기관은 나와 삼방 밸브를 통과하며, 한쪽 끝은 진공 펌프에, 다른 쪽 끝은 공기 배출구에 연결됩니다.

2) 가스 혼합 탱크에는 압력계가 연결되고, 압력계 표시 디스크와 질량 유량계는 동일한 패널에 설치됩니다.

3) 각 가스관에는 안전을 위해 고압 차단 밸브가 있습니다.

4) 가스 경로에는 고정밀 가스 플로트 유량계를 채택하고, 가스 경로 내부에는 내식성이 좋은 PTFE 튜브를 채택했습니다.

5) 모든 조인트는 페룰로 연결되어 있어 기밀성이 우수하고 압력에 대한 저항성이 높습니다.

2. 기술적 매개변수:

공기 채널: 2

공압 유량 제어: 질량 유량 컨트롤러.

인터페이스: Φ6

디스플레이: LED

작업 환경 온도: 5~45°C

유량 제어기: 질량 유량 제어기(자세한 기술 매개변수는 아래 참조)

PTFE 튜브: 외부 Φ6 XΦ4

압력 진공 게이지: -0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/구간

글로브 밸브: Φ6

3. 가스 공급 시스템의 내부 압력은 너무 커서는 안 됩니다. 그렇지 않으면 공기 누출이 쉽게 발생하지만 가스는 정상적으로 유출될 수 있어야 합니다.

4. 가스 공급 시스템의 구성:

1) 질량 유량계 : 2

2) 압력계 : 1

3) 차단밸브 : 3

4) 보드 커넥터를 통해: 3

5) 밸브 커넥터 : 2개

6) 실린더 조인트 : 2개

7) 테프론 튜브 : 10M

8) 폭기조 : 1

9) 퍼니스 랙 : 1세트

질량 유량계 기술적 매개변수: 질량 유량 컨트롤러 일반형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 막히기 어려움.

주요 지표:

범위: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (범위를 임의로 선택 가능)

• 정확도: ±1.5% FS

• 선형: ±0.5~1.5% FS

• 반복성: ±0.2% FS

• 응답 시간: 10초

• 공기압 강하 : <0.01MPa

• 최대 압력 : 3MP

• 작업 환경 온도 : 5~45°C

• 입력 및 출력 신호: 0~+5.00V

• 전원: +15V 50mA -15V 50mA

• 치수: 158*30*110

1 표준 수출 포장: 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출용 나무 상자 포장.

2. 고객 요구 사항에 따라 익스프레스, 항공, 해상 운송을 통해 가장 적합한 방법을 찾아 배송합니다.

3. 배송과정에서 발생하는 손상에 대해 책임을 지고, 손상된 부분을 무료로 교환해 드립니다.